制造能力
Renishaw激光干涉儀
激光干涉儀的基本配置可以完成數(shù)控機(jī)床三軸的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量和補(bǔ)償。
增加相應(yīng)的測量鏡組，可以完成數(shù)控機(jī)床三軸的水平和垂直方向的偏擺和俯仰角度測量，還可以完成平面度、直線度、垂直度的測量。增加回轉(zhuǎn)軸組件RX10，可以實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)軸(A,B.,C軸)的分度精度測量和補(bǔ)償。
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線性測量精度 ±0.5ppm 線性分辨率 1nm 最高移動(dòng)速度 4m/s 更新環(huán)境補(bǔ)償?shù)臅r(shí)間 7s 動(dòng)態(tài)采集頻率 50KHZ 線性測量距離為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定 80m 預(yù)熱時(shí)間 <6分鐘 環(huán)境溫度 0-40℃ |
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